在平板顯示產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的時(shí)代，激光工藝因?yàn)椴恍枰佑|產(chǎn)品即可實(shí)現(xiàn)完美聚焦，有些工藝甚至用到超快至飛秒級(jí)的加工，因此激光退火、切割、打標(biāo)和剝離被大量應(yīng)用到顯示行業(yè)加工。目前全球領(lǐng)先的激光企業(yè)主要有美國(guó)相干公司(Coherent)、大族激光等。

其中，成立于1966年的Coherent是一家全球領(lǐng)先的激光器和激光技術(shù)的供應(yīng)商，可提供廣泛的激光產(chǎn)品和專(zhuān)業(yè)的激光應(yīng)用技術(shù)方案，在激光行業(yè)享有較高的聲譽(yù)。10月16日，在第八屆“中國(guó)?北京2017國(guó)際顯示產(chǎn)業(yè)高峰論壇”中，筆者有幸參與了對(duì)Coherent產(chǎn)品線(xiàn)管理總監(jiān)Kai Schmidt的采訪。

在這次與Kai Schmidt的談話(huà)中，筆者發(fā)現(xiàn)這家已經(jīng)有51年發(fā)展歷史的激光巨頭仍在多項(xiàng)前沿性技術(shù)中占據(jù)絕對(duì)的領(lǐng)導(dǎo)地位。如在LCD及AMOLED技術(shù)前段核心制程的LTPS(低溫多晶硅)退火工藝，Coherent公司依然是實(shí)現(xiàn)這個(gè)工藝的唯一線(xiàn)束準(zhǔn)分子激光退火系統(tǒng)(ELA)供應(yīng)商。據(jù)介紹，這項(xiàng)工藝在不超過(guò)兩次掃描的條件下覆蓋了可用的所有基板尺寸，從而實(shí)現(xiàn)了高產(chǎn)能。

而在目前最為火熱的柔性顯示方面，Coherent公司也通過(guò)創(chuàng)新和經(jīng)濟(jì)高效的激光加工方案來(lái)跟進(jìn)這一趨勢(shì)。例如UVblade激光系統(tǒng)，以超快的速度實(shí)現(xiàn)柔性基板和剛性載體玻璃的無(wú)縫分離。對(duì)于這種剝離應(yīng)用，Coherent公司提供了大板和小板選項(xiàng)的解決方案。此外，擁有大功率超短脈沖的HyperRapid NX激光器，具有長(zhǎng)期的高穩(wěn)定性和完美的光束質(zhì)量，可以實(shí)現(xiàn)卓越的無(wú)缺陷的切割品質(zhì)。

Coherent公司認(rèn)為，當(dāng)前柔性O(shè)LED應(yīng)用在手機(jī)方面，越來(lái)越受到關(guān)注，2017年是柔性顯示技術(shù)突破性的一年，可用于實(shí)現(xiàn)從剛性到柔性基板轉(zhuǎn)換的激光系統(tǒng)顯然是高需求。未來(lái)憑借超快的切割速度及過(guò)硬的產(chǎn)品質(zhì)量的激光技術(shù)不可替代。

除了在技術(shù)上持續(xù)創(chuàng)新之外，Coherent公司的戰(zhàn)略布局也十分有遠(yuǎn)見(jiàn)，早在二十多年前開(kāi)始布局除歐美之外的中國(guó)市場(chǎng)，目前在中國(guó)市場(chǎng)占據(jù)了較高的份額。據(jù)Kai Schmidt介紹，早在1997年前，Coherent公司就已經(jīng)開(kāi)始在中國(guó)設(shè)立分公司，實(shí)現(xiàn)本土化服務(wù)客戶(hù)。

根據(jù)Coherent公司最新公布的2017財(cái)年二季報(bào)顯示，單季營(yíng)業(yè)收入為4.23億美元，同比增長(zhǎng)111.51%，環(huán)比增長(zhǎng)22.16%。凈利潤(rùn)0.42億美元，同比增長(zhǎng)134.83%，環(huán)比增長(zhǎng)35.5%。報(bào)告強(qiáng)調(diào)，2017年第二季度市場(chǎng)需求持續(xù)旺盛，尤其是來(lái)自中國(guó)的微電子加工業(yè)的需求?！凹す忸I(lǐng)域的創(chuàng)新其實(shí)也是來(lái)自于客戶(hù)端的需求，比如根據(jù)韓國(guó)客戶(hù)提出的‘需要更加長(zhǎng)的光束來(lái)做激光退火’，才實(shí)現(xiàn)了如今的高產(chǎn)能、且尺寸能覆蓋高世代玻璃基板的激光退火系統(tǒng)，因此要靠近市場(chǎng)，緊密和客戶(hù)合作?！盞ai Schmidt在接受采訪時(shí)表示。

以下為采訪實(shí)錄：

記者：現(xiàn)在柔性是一個(gè)熱點(diǎn)，雖然暫時(shí)沒(méi)有產(chǎn)品應(yīng)用在終端上，但是現(xiàn)在很多公司及研究機(jī)構(gòu)及個(gè)人都在研究這一方面?？煞裾?wù)勅嵝詮募す獾慕嵌葋?lái)看，有什么新的機(jī)遇?為此公司做了哪些準(zhǔn)備?

Kai Schmidt：在回答這個(gè)問(wèn)題之前，先給我們一個(gè)機(jī)會(huì)介紹一下我們公司。
美國(guó)相干公司成立于1966年，是全球領(lǐng)先的激光和激光技術(shù)的供應(yīng)商，在科研、商用、工業(yè)方面有很多的應(yīng)用。我們?nèi)蛴形迩Ф鄦T工，總部在美國(guó)。我們也是納斯達(dá)克的上市公司，我們最重要的是提供激光和激光工藝。

對(duì)于柔性，我們不會(huì)直接制造屏，但我們的激光工藝參與其中，也就是激光剝離。現(xiàn)在在生產(chǎn)柔性的工藝上中，其中有一個(gè)步驟需要把顯示器從剛性玻璃基板轉(zhuǎn)移到柔性基板上，這個(gè)步驟是需要激光工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)的。所以，對(duì)我們來(lái)說(shuō)是一個(gè)非常大的機(jī)遇。實(shí)現(xiàn)的過(guò)程主要利用激光在柔性基板上的高吸收率，將激光從玻璃的背面照射使得和玻璃接觸的柔性基板材料有效吸收激光的能量而發(fā)生熱消蝕從而從剛性基板上脫離。這是一種非?？焖儆行?、不需要觸碰式的分離技術(shù)。

對(duì)于激光剝離，我們目前在推一個(gè)UVblade激光系統(tǒng)，它是為激光剝離的應(yīng)用而開(kāi)發(fā)。這個(gè)產(chǎn)品可以根據(jù)客戶(hù)的需求定制不同的尺寸來(lái)滿(mǎn)足他們的生產(chǎn)工藝，不管是從大板還是小板的，我們都可以有相關(guān)的解決方案。

談到另外一個(gè)與柔性相關(guān)的激光應(yīng)用，就是對(duì)柔性面板的切割。因?yàn)槿嵝悦姘鍟?huì)牽扯到要切割到非常多層的薄膜結(jié)構(gòu)，包括有機(jī)材料和、偏光片等，用傳統(tǒng)的方法很難做到有效的切割，比如說(shuō)機(jī)械是很難處理這些材料。激光切割是最適合的工藝方法，我們推出的HyperRapid NX激光器，是一款超快的激光器，這個(gè)激光器已經(jīng)是業(yè)界公認(rèn)非常適合這一類(lèi)應(yīng)用的激光產(chǎn)品。主要的優(yōu)勢(shì)是能夠提供完美的激光光束，而且具有非常長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性。

所以，一個(gè)是激光剝離，一個(gè)是激光柔性的切割，這是可以看到在激光領(lǐng)域柔性顯示目前的新的機(jī)遇。

記者：第一、我們現(xiàn)在激光工藝最大應(yīng)用到哪代線(xiàn)上?第二、激光切割相對(duì)于傳統(tǒng)機(jī)械比較好，現(xiàn)在有沒(méi)有其他的技術(shù)，相對(duì)于激光切割也是比較有前景性的。我想對(duì)比一下他們的優(yōu)缺點(diǎn)，謝謝。
Kai Schmidt：目前最大的是8代線(xiàn)，通過(guò)兩次掃描就可以實(shí)現(xiàn)。
因?yàn)槿嵝燥@示非常薄，而且牽扯到非常多層的材料，柔性本身不是平整的切割，若用常規(guī)的切割方法，如機(jī)械切割，沒(méi)有辦法做到每一層都做的非常準(zhǔn)確。因此就目前階段來(lái)講，我們覺(jué)得激光是一個(gè)不可替代的方法。

記者：目前使用激光切割產(chǎn)品，如何保證激光的切割精度?激光產(chǎn)品質(zhì)量是通過(guò)哪些標(biāo)準(zhǔn)來(lái)衡量的?
Kai Schmidt：第一個(gè)問(wèn)題，怎么保證激光切割能夠做得非常準(zhǔn)確，有三個(gè)方面：

第一個(gè)方面，激光波長(zhǎng)的選擇。因?yàn)榍懈钸@個(gè)材料，你可以用不同的波長(zhǎng)來(lái)選擇切柔性的材料。我們產(chǎn)品用UV(紫外線(xiàn))，我們發(fā)現(xiàn)UV和這些材料的反應(yīng)是最適合用于這個(gè)應(yīng)用的，若用紅外、綠光來(lái)切的話(huà)，質(zhì)量沒(méi)有UV這樣好。所以首先要選正確的波長(zhǎng)。

第二個(gè)方面，速度要夠快。我們采用的是皮秒激光，皮秒是10-12秒，會(huì)在非常非常短時(shí)間內(nèi)脈沖能量釋放，意味著切割過(guò)程當(dāng)中并沒(méi)有其他的時(shí)間讓這些熱量散發(fā)到周邊的區(qū)域，減少熱效益的區(qū)域，這也是一個(gè)關(guān)鍵的原因，保證切割時(shí)產(chǎn)品的邊緣能夠非常平滑。

第三個(gè)原因，激光能夠非常完美的聚焦。在衡量激光光束質(zhì)量有一個(gè)專(zhuān)業(yè)的參數(shù)叫M平方，越接近于1的話(huà)意味著激光光束能夠最完美的聚焦。我們這款產(chǎn)品M平方是非常接近于1，所以才能實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的切割。
綜上所述，從這三個(gè)原因來(lái)講是這種激光器非常適合柔性切割的。
第二個(gè)問(wèn)題，從我們激光切割工藝來(lái)看的話(huà)，衡量切割好壞是你通過(guò)在顯微鏡下看的切割界面的圖像分析，它能顯示切割粗糙度的結(jié)果能不能符合客戶(hù)的要求標(biāo)準(zhǔn)。

記者：激光切割對(duì)比于機(jī)械切割的費(fèi)用會(huì)上升多少?

Kai Schmidt：我并不認(rèn)為激光切割絕對(duì)會(huì)影響成本的上升。這個(gè)問(wèn)題我想從兩個(gè)方面分析，首先傳統(tǒng)機(jī)械切割無(wú)法實(shí)現(xiàn)柔性材料或者某些蓋板玻璃的切割，所以無(wú)法去比較成本;而另一方面，即使傳統(tǒng)機(jī)械方法可以切割，但切割產(chǎn)品的邊緣質(zhì)量往往不夠好，后續(xù)需要加一些其他的工藝，但對(duì)于激光切割來(lái)說(shuō)不存在后續(xù)的工藝。
因此，考慮綜合成本，激光切割的工藝并沒(méi)有比傳統(tǒng)工藝來(lái)的成本更加高。
記者：在發(fā)展液晶時(shí)，有沒(méi)有對(duì)柔性這方面進(jìn)行較大的投入?

Kai Schmidt：我們用手機(jī)作為一個(gè)例子。在手機(jī)屏加工里有一個(gè)工藝叫LTPS(低溫多晶硅)技術(shù)，其實(shí)LTPS工藝就是通過(guò)我們的激光來(lái)實(shí)現(xiàn)的。我們目前也是唯一一個(gè)實(shí)現(xiàn)這個(gè)工藝的激光供應(yīng)商。
LTPS可以應(yīng)用于在LCD的屏幕，也可以應(yīng)用于OLED屏幕，這個(gè)工藝是共通的。目前市面上可以看到的智能手機(jī)大部分都是LTPS，可以說(shuō)你們每個(gè)人的手機(jī)當(dāng)中都有一步驟是通過(guò)我們的激光來(lái)完成的。LTPS技術(shù)用在液晶手機(jī)上是非常成熟的，并且它也能繼續(xù)用在OLED和柔性顯示上，所以我們并不是因?yàn)镺LED的興起才涉足這個(gè)行業(yè)，我們?cè)贚CD時(shí)代已經(jīng)有很多的客戶(hù)端應(yīng)用基礎(chǔ)。

記者：現(xiàn)在很多中國(guó)面板企業(yè)切入柔性方面，對(duì)于激光企業(yè)來(lái)說(shuō)可謂是一個(gè)大機(jī)遇，想了解相干公司在中國(guó)的戰(zhàn)略布局是怎樣的?

Kai Schmidt：因?yàn)槲覀儾⒉皇侵圃焓謾C(jī)屏幕的，我們是通過(guò)跟我們的終端用戶(hù)合作，能夠使他們生產(chǎn)出市面上需要的屏幕。說(shuō)到在中國(guó)市場(chǎng)的布局，我們盡量跟中國(guó)客戶(hù)走的更近一些，貼近市場(chǎng)，貼近客戶(hù)需求。以往的經(jīng)驗(yàn)告訴我們，激光領(lǐng)域的創(chuàng)新其實(shí)也是來(lái)自于客戶(hù)端的需求。比如在韓國(guó)市場(chǎng)的一個(gè)例子，因?yàn)轫n國(guó)的客戶(hù)當(dāng)時(shí)找到我們說(shuō)他們需要更加長(zhǎng)的光束來(lái)做激光退火，所以才有了激光退火這個(gè)產(chǎn)品線(xiàn)光束的寬度從原來(lái)的380毫米，到現(xiàn)在能夠做到1500毫米的尺寸。取得這些成果其實(shí)都是因?yàn)槲覀兏蛻?hù)保持非常緊密的合作。

相干公司早在1997年前就已經(jīng)在中國(guó)設(shè)立了公司，活躍在中國(guó)的激光市場(chǎng)，持續(xù)為客戶(hù)提供最專(zhuān)業(yè)的本地化服務(wù)。我們?cè)谥袊?guó)不僅有銷(xiāo)售，市場(chǎng)，服務(wù)團(tuán)隊(duì)，還有應(yīng)用開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)。相干公司雖然是一家美國(guó)公司，可因?yàn)楸镜鼗呗缘膶?shí)施，我們并沒(méi)有讓我們的客戶(hù)感到距離感。相反，更加緊密的溝通、合作使得我們能夠?qū)⒆陨碡S富的經(jīng)驗(yàn)和雄厚的技術(shù)實(shí)力注入到為中國(guó)客戶(hù)提供的服務(wù)過(guò)程中去，這也是我們區(qū)別于其他外資激光公司的一個(gè)方面。